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LSCE-800接触式曝光机指掩膜板直接与基板的光刻胶层接触,曝光出来的图形与掩膜板上的图形分辨率准确度高,设备简单,线宽可达800nm;可以配合使用多种型号的正光阻和负光阻;适用于从特殊大小的基片到4尺寸很宽广范围材料的紫外或深紫外光曝光。可广泛应用于半导体制造,光电电子,平板,射频微波,衍射光学,微机电系统,凹凸或覆晶设备和其他要求精细印制和精度对准的应用。
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